Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки

Другие работы по этой специальности

1. Нерегулярные микрополосковые резонаторы и СВЧ устройства на их основе

   Шихов, Юрий Германович · 2000 · Канд. наук

   • 05.12.21
2. Быстрое измерение иммитанса электрохимических объектов в присутствии апериодической аддитивной помехи

   Фадеева, Лариса Владимировна · 2000 · Канд. наук

   • 05.12.21
3. Исследование алгоритмов сигнальной синхронизации в объединенной системе связи и навигации

   Жагров, Дмитрий Александрович · 2000 · Канд. наук

   • 05.12.21
4. Радиоволновые приборы СВЧ и КВЧ диапазонов для зондирования природных образований

   Ёлкин, Владимир Александрович · 2000 · Канд. наук

   • 05.12.21
5. Исследование волновых процессов в связанных полосковых линиях и разработка на их основе быстродействующих аттенюаторов и динамических корректоров

   Федоров, Вячеслав Николаевич · 1999 · Канд. наук

   • 05.12.21