Атомистическое моделирование и просвечивающая электронная микроскопия структуры кремния и бинарных ковалентных материалов после облучения ионами галлия и ксенона

«Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» ; Диссовет 24.2.342.02 (Д 212.134.XX), Москва