Обложка работы «Атомно-силовая микроскопия для задач субангстремной диагностики и модификации поверхности полупроводников». Автор: Щеглов, Дмитрий Владимирович. Степень: Докт. наук. Год: 2026

Атомно-силовая микроскопия для задач субангстремной диагностики и модификации поверхности полупроводников

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.134.01 (Д 003.037.01), Новосибирск

268 стр.

Атомно-силовая микроскопия для задач субангстремной диагностики и модификации поверхности полупроводников — Щеглов, Дмитрий Владимирович — 2026 — Российская библиотека диссертаций