Автоматизированный интроскопический комплекс на базе методов цифрового рентгенотелевидения и трансмиссионной томографии для технологического контроля изделий микроэлектроники

Московская государственная академия приборостроения и информатики, Москва

18 стр.

Автоматизированный интроскопический комплекс на базе методов цифрового рентгенотелевидения и трансмиссионной томографии для технологического контроля изделий микроэлектроники — Шуринов, Владимир Алексеевич — 2001 — Российская библиотека диссертаций