Балансно-двухволновой метод контроля оптических толщин слоев : Исследование возможностей метода при изготовлении интерференционных покрытий

Санкт-Петербург

217 стр.

Балансно-двухволновой метод контроля оптических толщин слоев : Исследование возможностей метода при изготовлении интерференционных покрытий — Эльгарт, Зиновий Эльевич — 1998 — Российская библиотека диссертаций