Численное моделирование гидродинамических процессов при выращивании полупроводниковых структур методами газофазной и жидкофазной эпитаксии

Санкт-Петербург

332 стр.

Численное моделирование гидродинамических процессов при выращивании полупроводниковых структур методами газофазной и жидкофазной эпитаксии — Жмакин, Александр Игоревич — 1992 — Российская библиотека диссертаций