Численное моделирование радиационно-ускоренной диффузии легирующих примесей в кремнии

Новосибирск

140 стр.

Численное моделирование радиационно-ускоренной диффузии легирующих примесей в кремнии — Бондарева, Татьяна Владимировна — 1993 — Российская библиотека диссертаций