Деградационные явления при производстве кремниевые планарных приборов, обусловленные взаимодействием и перераспределением точечных дефектов
Ключевые слова
интегральные схемы, кристаллы кремния, точечные дефекты
интегральные схемы, кристаллы кремния, точечные дефекты