Деградационные явления при производстве кремниевые планарных приборов, обусловленные взаимодействием и перераспределением точечных дефектов

Ленинград

31 стр.

Ключевые слова

интегральные схемы, кристаллы кремния, точечные дефекты

Деградационные явления при производстве кремниевые планарных приборов, обусловленные взаимодействием и перераспределением точечных дефектов — Соколов, Владимир Иванович. — 1986 — Российская библиотека диссертаций