Диссоциация молекул и процессы катодного распыления в тлеющем и высокочастотном разрядах

  • 02.00.00 Химия

Иван. хим.-технол. ин-т, Иваново

192 стр.

Диссоциация молекул и процессы катодного распыления в тлеющем и высокочастотном разрядах — Светцов, Владимир Иванович — 1969 — Российская библиотека диссертаций