Эффективное шлифование пластин из монокристаллического кремния торцем алмазного круга

  • 05.03.01

Грузинский политехнический институт имени В. И. Ленина, Тбилиси

22 стр.

Эффективное шлифование пластин из монокристаллического кремния торцем алмазного круга — Маркевич, Юрий Игоревич — 1986 — Российская библиотека диссертаций