Эллипсометрический метод контроля параметров сложных диэлектрических структур

Москва

170 стр.

Эллипсометрический метод контроля параметров сложных диэлектрических структур — Щапова, Ирина Анатольевна — 1991 — Российская библиотека диссертаций