Эллипсометрия неоднородных слоев и шероховатых поверхностей оптических элементов

Санкт-Петербург

261 стр.

Эллипсометрия неоднородных слоев и шероховатых поверхностей оптических элементов — Храмцовский, Игорь Анатольевич — 1998 — Российская библиотека диссертаций