Физико-химические основы низкотемпературного газофазного осаждения тугоплавких покрытий восстановлением галогенидов металлами

«Казанский национальный исследовательский технологический университет» ; Диссовет 24.2.312.01 (Д 212.080.03), Казань

40 стр.

Физико-химические основы низкотемпературного газофазного осаждения тугоплавких покрытий восстановлением галогенидов металлами — Гончаров, Олег Юрьевич — 2026 — Российская библиотека диссертаций