Физико-химические основы осаждения сплавов вольфрама с переходными металлами V-VII групп из парогазовой смеси их фторидов с водородом

Москва

332 стр.

Ключевые слова

осаждение сплавов фольфрама

Физико-химические основы осаждения сплавов вольфрама с переходными металлами V-VII групп из парогазовой смеси их фторидов с водородом — Лахоткин, Юрий Викторович — 1994 — Российская библиотека диссертаций