Физико-технологические основы формирования полупроводниковых структур быстродействующих микроэлектронных устройств методами имплантации молекулярных ионов : автореферат дис. ... доктора технических наук : специальность

Москва

50 стр.

Физико-технологические основы формирования полупроводниковых структур быстродействующих микроэлектронных устройств методами имплантации молекулярных ионов : автореферат дис. ... доктора технических наук : специальность — Черняев, Александр Владимирович — 1991 — Российская библиотека диссертаций