Физико-технологические основы формирования полупроводниковых структур быстродействующих микроэлектронных устройств методами имплантации молекулярных ионов : автореферат дис. ... доктора технических наук : специальность
Черняев, Александр Владимирович, 1991, докторская диссертация
Сидоренко, Александр Анатольевич · Канд. наук · Владимирский государственный университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых
Физико-технологические основы формирования полупроводниковых структур быстродействующих микроэлектронных устройств методами имплантации молекулярных ионов : автореферат дис. ... доктора технических наук : специальность — Черняев, Александр Владимирович — 1991 — Российская библиотека диссертаций