Формирование окисных слоев кремния ионной имплантацией кислорода для создания межкомпонентной изоляции интегральных микросхем
Протасевич, Петр Васильевич, 1985, кандидатская диссертация
Институт физики твердого тела и полупроводников АН БССР, Минск
16 стр.
Другие работы по этой специальности
- Эволюция дефектных структур в нанометровом поверхностном слое твердого тела при различных внешних воздействиях
Князев, Сергей Александрович · Докт. наук · Санкт-Петербургский государственный университет
- Электронный и вихревой транспорт в сверхпроводящих плёнках нитрида титана
Постолова, Светлана Владимировна · Канд. наук · Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук
- Исследование свойств алгоритма Ванга-Ландау
Фадеева, Марина Александровна · 2023 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики» ; Диссовет Диссертационный совет по инженерным наукам и прикладной математике
- Создание термостойкого неразъемного соединения молибдена с графитом для изготовления комбинированного анода рентгеновской трубки
Федотов, Иван Владимирович · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
- Локальные и макроскопические магнито-транспортные характеристики высокотемпературных сверхпроводящих композитов
Покровский, Сергей Владимирович · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»