Формирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы

Национальный исследовательский ядерный университет, Москва

161 стр.

Формирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы — Демин, Максим Викторович — 2013 — Российская библиотека диссертаций