Формирование тонкопленочных слоев оксидов металлов методом реактивного импульсного лазерного осаждения и исследование их структурных и функциональных свойств
Ключевые слова
тонкопленочные структуры - лазерное осаждение
тонкопленочные структуры - лазерное осаждение