Генерация и исследование пучковой и газоразрядной плазмы для модификации материалов и электрореактивного движения

ФГБУН Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук, Томск

54 стр.

Ключевые слова

генерация пучковой и газоразрядной плазмы, электронно-лучевая модификация материалов, ионно-плазменная модификация материалов