Генерация плазмы геликонного ВЧ разряда в неоднородном магнитном поле

ФГБУН Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.162.02 (Д 003.016.03), Новосибирск

92 стр.

Ключевые слова

генерация плазмы в высокочастотных источниках геликонного типа

Генерация плазмы геликонного ВЧ разряда в неоднородном магнитном поле — Кузьмин, Евгений Игоревич — 2022 — Российская библиотека диссертаций