Обложка работы «Генерация плазмы и синтез покрытий с интенсивным ионным сопровождением в газоразрядных системах с плазменным и самонакаливаемым катодами : диссертация ... доктора технических наук : 1.3.13.». Автор: Каменецких, Александр Сергеевич. Степень: Докт. наук. Год: 2025

Генерация плазмы и синтез покрытий с интенсивным ионным сопровождением в газоразрядных системах с плазменным и самонакаливаемым катодами : диссертация ... доктора технических наук : 1.3.13.

ФГБУН Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.160.01 (Д 004.024.01), Екатеринбург

304 стр.

Генерация плазмы и синтез покрытий с интенсивным ионным сопровождением в газоразрядных системах с плазменным и самонакаливаемым катодами : диссертация ... доктора технических наук : 1.3.13. — Каменецких, Александр Сергеевич — 2025 — Российская библиотека диссертаций