Генерация собственных точечных дефектов в кремнии в процессе образования силицидов металлов на поверхности кристалла

Москва

108 стр.

Генерация собственных точечных дефектов в кремнии в процессе образования силицидов металлов на поверхности кристалла — Кузнецов, Андрей Юрьевич — 1992 — Российская библиотека диссертаций