Имитационное моделирование динамических особенностей системы управления технологическим процессом выращивания монокристаллов по методу Чохральского

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники», Москва

108 стр.

Имитационное моделирование динамических особенностей системы управления технологическим процессом выращивания монокристаллов по методу Чохральского — Чжо Наинг Сое — 2019 — Российская библиотека диссертаций