Имплантация кремния высокими дозами углерода : структурные особенности и фазовые превращения

Алматы

294 стр.

Ключевые слова

имплантация кремния; высокие дозы углерода

Имплантация кремния высокими дозами углерода : структурные особенности и фазовые превращения — Нусупов, Каир Хамзаевич — 1995 — Российская библиотека диссертаций