Обложка работы «Импульсный магнетронный разряд с горячей мишенью». Автор: Тумаркин, Александр Владимирович. Степень: Канд. наук. Год: 2022

Импульсный магнетронный разряд с горячей мишенью

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ» ; Диссовет МИФИ.1.01, Москва

117 стр.

Ключевые слова

импульсный магнетронный разряд, высокоскоростное осаждение покрытий, защита поверхности алюминия от коррозии

Импульсный магнетронный разряд с горячей мишенью — Тумаркин, Александр Владимирович — 2022 — Российская библиотека диссертаций