Обложка работы «Информационно-измерительные и управляющие системы производственными процессами для микро- и наноэлектроники : диссертация ... доктора технических наук : 2.2.11.». Автор: Шевнина, Юлия Сергеевна. Степень: Докт. наук. Год: 2024

Информационно-измерительные и управляющие системы производственными процессами для микро- и наноэлектроники : диссертация ... доктора технических наук : 2.2.11.

ФГБОУ ВО «Тульский государственный университет» ; Диссовет 24.2.417.03 (Д 212.271.07), Москва

355 стр.

Информационно-измерительные и управляющие системы производственными процессами для микро- и наноэлектроники : диссертация ... доктора технических наук : 2.2.11. — Шевнина, Юлия Сергеевна — 2024 — Российская библиотека диссертаций