Использование электрофоретического осаждения двухкомпонентных систем для формирования композиционных наноструктурированных функциональных слоев

Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» ; Диссовет 24.2.342.02 (Д 212.134.XX), Москва

154 стр.