Использование распределенного ВЧ генератора для возбуждения низкотемпературной плазмы в протяженном реакторе

Новосибирск

154 стр.

Использование распределенного ВЧ генератора для возбуждения низкотемпературной плазмы в протяженном реакторе — Чипурнов, Сергей Алексеевич — 1999 — Российская библиотека диссертаций