Исследование диаграмм направленности термических испарителей для получения равномерного конденсата пленок при серийном производстве элементов интегральных схем

Казань

21 стр.

Исследование диаграмм направленности термических испарителей для получения равномерного конденсата пленок при серийном производстве элементов интегральных схем — Чепахин, Г. А. — 1970 — Российская библиотека диссертаций