Исследование диэлектрической системы неоднородная пленка - однородная подложка эллипсометрическим методом

Санкт-Петербург

133 стр.

Исследование диэлектрической системы неоднородная пленка - однородная подложка эллипсометрическим методом — Шептунов, Олег Алексеевич — 1993 — Российская библиотека диссертаций