Исследование электрически- и рекомбинационно-активных дефектов в кремнии и сплавах кремний-германий картирующим методом малоуглового рассеяния света

Москва

96 стр.

Ключевые слова

картирующий метод, малоугловое рассеяние света

Исследование электрически- и рекомбинационно-активных дефектов в кремнии и сплавах кремний-германий картирующим методом малоуглового рассеяния света — Астафьев, Олег Владимирович — 1997 — Российская библиотека диссертаций