Исследование электрической прочности и структуры тонкопленочных конденсаторов на основе моноокиси кремния

  • 05.00.00 Техника

Новосиб. электротехн. ин-т, Томск

141 стр.

Исследование электрической прочности и структуры тонкопленочных конденсаторов на основе моноокиси кремния — Руднев, Александр Николаевич — 1968 — Российская библиотека диссертаций