Исследование электрофизических свойств кремниевых МОП-структур на основе диэлектрических пленок двуокиси кремния и окислов редкоземельных элементов

Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского, Саратов

197 стр.

Исследование электрофизических свойств кремниевых МОП-структур на основе диэлектрических пленок двуокиси кремния и окислов редкоземельных элементов — Рожков, Виктор Аркадьевич — 1973 — Российская библиотека диссертаций