Исследование электромагнитного бесконтактного метода измерения толщины сверхтонких немагнитных металлических пленок

  • 05.00.00 Техника

Моск. станкоинструм. ин-т, Москва

204 стр.

Исследование электромагнитного бесконтактного метода измерения толщины сверхтонких немагнитных металлических пленок — Шилов, Станислав Александрович — 1969 — Российская библиотека диссертаций