Исследование элементов и систем управления температурой в реакторах эпитаксиального наращивания полупроводниковых пленок

  • 05.00.00 Техника

Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина), Таллин

236 стр.

Исследование элементов и систем управления температурой в реакторах эпитаксиального наращивания полупроводниковых пленок — Тарма, Мати Яанович — 1970 — Российская библиотека диссертаций