Исследование физических свойств и характеристик кремниевых ионнолегированных p-i-n структур для использования в микроэлектронных устройствах СВЧ

  • 05.00.00 Техника

Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина), Ленинград

169 стр.

Исследование физических свойств и характеристик кремниевых ионнолегированных p-i-n структур для использования в микроэлектронных устройствах СВЧ — Реш, Екатерина Александровна — 1972 — Российская библиотека диссертаций