Исследование горизонтального эпитаксиального реактора как теплового объекта управления

  • 05.13.07

Таллин

197 стр.

Исследование горизонтального эпитаксиального реактора как теплового объекта управления — Микк, Эйно Антонович — 1979 — Российская библиотека диссертаций