Исследование и контроль физико-механических свойств пленочных систем с целью оптимизации технологического процесса вакуумного осаждения
Долгов, В. В., 1972, кандидатская диссертация
Москва
18 стр.
Исследование и контроль физико-механических свойств пленочных систем с целью оптимизации технологического процесса вакуумного осаждения — Долгов, В. В. — 1972 — Российская библиотека диссертаций