Исследование и контроль физико-механических свойств пленочных систем с целью оптимизации технологического процесса вакуумного осаждения

Москва

18 стр.

Исследование и контроль физико-механических свойств пленочных систем с целью оптимизации технологического процесса вакуумного осаждения — Долгов, В. В. — 1972 — Российская библиотека диссертаций