Исследование и разработка алгоритмов функционирования системы контроля технологических процессов производства интегральных схем

Кишинев

181 стр.

Исследование и разработка алгоритмов функционирования системы контроля технологических процессов производства интегральных схем — Сорокин, Герман Федорович — 1982 — Российская библиотека диссертаций