Исследование и разработка интегральных преобразователей влажности для контроля технологических сред микроэлектроники

Москва

230 стр.

Исследование и разработка интегральных преобразователей влажности для контроля технологических сред микроэлектроники — Ярышевский, Михаил Анатольевич — 1991 — Российская библиотека диссертаций