Исследование и разработка калориметрических устройств контроля газовых потоков с целью повышения качества полупроводниковых структур в процессе их производства методами планарно-эпитаксиальной технологии
Варивода, Зеновий Васильевич, 1982, кандидатская диссертация
Ленинград
225 стр.
Другие работы по этой специальности
- Методическое, алгоритмическое и приборное обеспечение процедур обнаружения аномалий в мониторинговых наблюдениях природной среды на основе модульно-компонентного подхода
Шишкин, Юрий Евгеньевич · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»
- Разработка системы мониторинга и нейтрализации выхлопных газов двигателей внутреннего сгорания в местах их настройки, обкатки и регулировки
Гхеллаб Яхья · 2021 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет ИТМО»
- Разработка методики неразрушающего контроля физико-химических характеристик композиционных материалов органического происхождения
Верховская, Яна Ивановна · 2021 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет ИТМО»
- Расширение аналитических возможностей атомно-абсорбционной спектрометрии с источником сплошного просвечивающего излучения за счет двухстадийной зондовой атомизации проб
Ирисов, Денис Сергеевич · 2021 · Канд. наук · ФГБОУ ВО «Казанский государственный энергетический университет»
- Комплекс приборов для исследования трансформации, ударов и разрушений поверхностных волн на наклонном дне
Шоларь, Станислав Александрович · 2021 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»