Исследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий

Санкт-Петербург

17 стр.

Исследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий — Михайлов, Анатолий Васильевич — 1996 — Российская библиотека диссертаций