Исследование и разработка методов контроля толщин пленок в процессе формирования многослойных интерференционных покрытий, наносимых напылением в вакууме

Гос. оптич. ин-т им. С. И. Вавилова, Ленинград

141 стр.

Исследование и разработка методов контроля толщин пленок в процессе формирования многослойных интерференционных покрытий, наносимых напылением в вакууме — Кацнельсон, Леонид Борисович — 1972 — Российская библиотека диссертаций