Исследование и разработка оптических систем для автоматизированного контроля дефектов внешнего вида изделий микроэлектроники

Ленинградский институт точной механики и оптики, Ленинград

19 стр.

Исследование и разработка оптических систем для автоматизированного контроля дефектов внешнего вида изделий микроэлектроники — Широков, Александр Константинович — 1986 — Российская библиотека диссертаций