Исследование и разработка процессов модификации поверхности полимерных материалов микро- и оптоэлектроники на основе низкочастотного газового разряда плазмы атмосферного давления

ФГБОУ ВО «Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)», Москва

216 стр.

Исследование и разработка процессов модификации поверхности полимерных материалов микро- и оптоэлектроники на основе низкочастотного газового разряда плазмы атмосферного давления — Шведов, Андрей Викторович — 2020 — Российская библиотека диссертаций