Исследование и разработка рациональных режимов технологии электроплавки кремния

  • 05.16.03

Иркутск

122 стр.

Ключевые слова

электроплавка кремния

Исследование и разработка рациональных режимов технологии электроплавки кремния — Щапов, Евгений Николаевич — 1996 — Российская библиотека диссертаций