Исследование и разработка технологического процесса неразрушающего контроля резисторных слоев с целью анализа интегральных параметров их состояния, необходимых для автоматизации и моделирования этапов фотолитографического процесса
Шапиро, Александр Гиршевич, 1990, кандидатская диссертация
Сидоренко, Александр Анатольевич · Канд. наук · Владимирский государственный университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых