Исследование и разработка технологии изготовления транзисторных структур германиевых интегральных схем методом электрохимического осаждения электродных сплавов

Ленинград

24 стр.

Исследование и разработка технологии изготовления транзисторных структур германиевых интегральных схем методом электрохимического осаждения электродных сплавов — Михалович, Даниел Леович — 1972 — Российская библиотека диссертаций