Исследование и разработка технологии получения тонкопленочных резисторов для специализированных микросборок радиотехнических устройств

Москва

18 стр.

Ключевые слова

резистивные пленки - технология получения

Исследование и разработка технологии получения тонкопленочных резисторов для специализированных микросборок радиотехнических устройств — Селиверстов, Лев Алексеевич — 1986 — Российская библиотека диссертаций