Исследование характера распределения примесей в кристаллах кремния, выращенных по методу Чохральского

  • 05.00.00 Техника

Отд-ние физ.-техн. и мат. наук АН УзССР, Ташкент

243 стр.

Исследование характера распределения примесей в кристаллах кремния, выращенных по методу Чохральского — Каримов, Раим Хабибевич — 1970 — Российская библиотека диссертаций